萬級無塵車間警報器的安裝

電子工業萬級無塵車間中的配電設備宜采用暗裝，是為了防止或減少產生、積聚微粒，方便清潔，所以本條規定：

萬級無塵車間內的配電設備，應選擇不易積塵、便于擦拭的小型、暗裝設備，不宜設落地安裝的配電設備。

近年來，電子工業萬級無塵車間中，采用垂直單向流無塵車間時，下技術夾層高度常常為4m以上，此時，配電系統的配電箱基本上均布置在下技術夾層。

供應有特殊要求的生產工藝設備和公用動力設備等所需電力，應急發電機供應電力的能力約占全廠裝設功率的2%～15%，不間斷電源的電力供應能力占全廠裝設功率的1%~15%;一些大規模集成電路芯片制造工廠的應急發電裝置設有8～12臺，單臺發電能力1500-2000 kW。

無塵車間內下列場所應設置氣體泄漏報警裝置：

l易燃、易爆、有毒氣體的儲存分配間;

2易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內;等級要求嚴格和連續運轉、高純物質供應町靠和連續，這些都對無塵車間的電力供應提出了連續甚至不間斷供應和電壓穩定性要求。